(A)对材料表面的刻蚀作用

物理作用 等离子体中的大量离子、激収态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

(B)激活键能，交联作用 等离子体中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物*部分的键能在 0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基中的这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

(C)形成新的官能团 化学作用如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

通过其处理，能够改善材料表面的浸润能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除**污染物、油污或油脂。

等离子清洗机的功能目前来看也许只是冰山一角，具体的功能，碰到具体的应用时就会体现出来。等离子体清洗的较大技术特点是，它不分处理对象，可处理不同的基材，无论是金属，半导体、氧化物、还是高分子次材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可用等离子体很好地处理。因此特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。而且还可以有选择地对材料的整体，局部或复杂结构进行部分清洗。在完成清洗去污的同时，还能改变材料的本身的表面性能，如提高表面的润湿性能，改善膜的附着力等，这在许多应用中都是非常重要的。